芯科技消息（文/罗伊）联华林德18日宣布将与半导体先驱物质供应商宇川精密合作，预计未来2年投资总计9000万元新台币在台南厂区共同开发三甲硅烷基胺（Trisilylamine，TSA）生产设备及产线，预估每年生产产能可达3.6吨，并规划于2020年第3季投产。

联华林德是由联华实业和林德集团共同成立的合资公司，是台最大工业气体制造商。针对合作案，总经理唐静洲表示，非常荣幸能宣布这项新投资，这代表公司持续实现在地生产特殊气体的承诺。相信为爱来伴随联华林德Spectra EM产品组合，这项投资将更能稳定供应公司陆、台等亚洲电子业客户需求。

TSA主要用于在先进逻辑技术节点及3D NAND位元线主要氧化物填充，它使用流动式化学气相沉积（FCVD）机台来将硅电介质沉积到浅沟槽隔离技术（STI）中。由于3D NAND在存储层中的堆叠层增长，从而增加存储孔的高度，因此对TSA用量也持续增长。

联华林德表示，新型TSA生产设备将采用最尖端制程，并搭配先进安全及分析基础设施。考量供应链应变计划，生产厂区策略性选在对TSA需求与日俱增的亚洲市场。

联华林德乐观通过结合双方在化学、制程技术及先进分析上加起来逾30年的经验，携手开发出TSA，并在明年第3季步入量产。之后，联华林德将独家代理新产品销售，并将其纳入Spectra EM品牌系列，率先自亚洲市场出发，陆续为全球半导体产业客户服务。

宇川精密是三五族半导体厂，主要提供半导体厂太阳能、射频、光通信、显示器等专业有机金属。同时，也致力开发应用于新兴半导体原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）设备的各种高纯度前驱体，期望能满足7纳米以下先进制程多样化需求。

图片来源：联华林德

（校对/holly）